Вакуумное оборудование для напыления и нанесения покрытий
-
Вакуумная установка Citation 1.2M для нанесения тонких и толстых оптических покрытий на крупногабаритные оптические элементы диаметром до 1200 мм (фирма Vacuum Process Technology LCC).
-
Вакуумная камера UNIVEX 450 (фирма Leybold AG).
Основные области применения:
- Вакуумное напыление в исследованиях и разработках
- Предварительные производственные испытания
- Специальные эксперименты
Преимущества данной установки:
- Модульная конструкция системы
- Удобный доступ к основным узлам вакуумной камеры
- Установка очень проста в эксплуатации
- Система откачки адаптирована для индивидуального использования
- Возможность высокочастотного распыления
Система откачки включает в себя:
- Двухступенчатый пластинчато-роторный вакуумный насос TRIVAC D 65 B
- Турбомолекулярный вакуумный насос TURBOVAC 1100 С