en

Сотрудник подразделения

Публикации

  1. 1Zhevlakov A.P., Seisyan R.P., Bespalov V.G., Elizarov V.V., Grishkanich A.S., Kascheev S.V. High-efficiency bispectral laser source for EUV lithography // Proceedings of SPIE - 2016, Vol. 9735, pp. 97351F [SJR: 0.192]
    подробнее >>